IEEE CPMT Society Japan Chapter

2011年　第1回 IEEE CPMT Society Japan Chapter イブニングミーティング
2011　1st IEEE CPMT Society Japan Chapter Evening Meeting

主催: IEEE CPMT Society Japan Chapter

日時：20１１年3月25日(水) 16:00 - 18:00

場所：中央大学　駿河台記念館

◆プログラム

［講演１］

講　　師: 株式会社日産アーク研究部 物性解析グループ 研究員阿部聡子

講演題名: 積層界面の高度評価技術 -密着性と界面物性-

講演概要:

半導体デバイスの分野では，誘電体膜，金属膜，有機膜など多岐にわたる材料の積層技術が用いられているため，品質や信頼性につながる界面の詳細な評価が求められている．密着性は重要な界面特性の一つであるが，これまでは，引っ張り試験やテープ試験などによる再現性や定量性に欠けた評価が主流であった．そこで，密着性の定量的な評価法を説明し，その一つである4-pointbending法を用いてSiCN/Cu界面の密着性を評価した結果を紹介する．さらに，断面を分析するだけでは得られなかった界面の物性について，XPSやAFMによる分析結果から議論を行う．


［講演２］

講　　師: 福岡大学 教授 友景 肇

講演題名: 福岡県先端システムLSI開発クラスター構想と三次元半導体研究所の紹介

講演概要:

福岡県は文部科学省地域イノベーションクラスター事業の採択を受け、現在22のプロジェクトを実施中である。その中の１つに「半導体実装プラットフォームの研究開発」プロジェクトがあり、三次元実装技術の確立を目指した研究開発を行っている。事業の更なる展開を目指して「三次元半導体研究センター」を建設中で、4月に完成する。これまでの取り組みと新しい研究所の概要を紹介する。