IEEE CPMT Society Japan Chapter

第35回IEEE CPMT Society Japan Chapter イブニングミーティング
35th IEEE CPMT Society Japan Chapter Evening Meeting
（開催報告）

主催: IEEE CPMT Society Japan Chapter

日時：2017年3月2日(木) 17:00 - 19:00
(受付開始 : 16:45)

場所

東京大学本郷キャンパス　工学部14号館142号講義室

概要

　プリンテッド（印刷）エレクトロニクスは、分散性の金属ナノ粒子や可溶性の有機半導体材料を含んだミクロな液滴の塗布と、液相を介した金属／半導体層の自己形成によって、近常温・常圧下で電子デバイスを構築することを狙いとしています。本講演では、フレキシブルエレクトロニクスの実現に向けて、真空を用いた通常のデバイスプロセスを凌駕する新しい印刷プロセス技術の開発を紹介します。ご紹介するトピックスは、１）インク中の銀ナノ粒子の表面化学吸着現象を活用した超高精細金属配線印刷技術・スーパーナップ法の開発、２）高い層状結晶性を示す有機半導体材料の開発と、溶液中での分子の自己組織化を活用した高性能な極薄トランジスタの開発、３）数ボルトで動作する強誘電体キャパシタの印刷技術の開発です。特にそこでは、ナノ材料・分子材料の優れた自己凝集機能を活用することが、優れた印刷プロセス技術の開発の鍵になることをお示ししたいと思います。
Abstract

　Printed electronics aims to produce electronics devices under ambient conditions via the self-formation of metal or semiconductor layers in the liquid phases, after depositing microdroplets that contain dispersed metal nanoparticles or soluble organic semiconductor materials. In this talk, I would like to introduce our recent investigations for developing innovative printed electronics technologies that are more advantageous than conventional vacuum-based device process technologies toward realizing flexible electronics. The topics include; 1) Development of a new principle printing technique called as SuPR-NaP, which utilizes selective surface chemisorption phenomena of silver nanoparticles in the ink, for conductive silver patterning with submicron resolution. 2) Development of highly layered crystalline organic semiconductors and of the high performance ultrathin film transistors, which utilizes self-organization of molecules in the solution phases. 3) Development of printed organic ferroelectric capacitor that presents few volt switching operations. I would like to show that the use of self-assembled nature of the nano and molecular materials should be the key for the advanced printed electronics technologies.

概要

　光走査素子は、レーザ光などを走査（スキャン）させるデバイスで、レーザプリンタやプロジェクタなどの製品に幅広く利用されており、最近では、人検知センサや自動運転用の３Dライダー（Lidar）など次世代デバイスのキーコンポーネントとして期待されている。これらのデバイス用途では、数十ｋＨｚ以上の高速走査やミリメーターサイズ～数センチ角のミラー面積で90°以上の大振幅動作や動作時のミラー撓み（歪み）の低減、駆動消費電力の低減が要求される。しかしながら、MEMSミラーやポリゴンミラーといった従来の光走査素子は性能面・コスト面で制約がある。本講演では、低コストで高速な走査速度と広い走査角度の両立を実現させ、これまでの技術課題を解決する産総研が独自に考案したラム波共鳴圧電駆動方式のメタルミラー光走査素子を紹介する。
Abstract

　The optical scanning devices scan lights from lasers beam and so on. These devices are utilized in laser printers, projectors, etc. Recently, it is expected as a key component of next generation devices such as a range finding sensor and a 3D-Lidar for automatic driving. However, conventional optical scanning devices like MEMS mirrors and polygon mirrors are subject to constraints on performance and cost. The AIST-original metal mirror applying the Lamb-wave-resonance piezoelectric driving method has achieved both high-quality scanning speeds and large scanning angles at low cost, which have solved these technical challenges.